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1、引言
VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
2、主要技術指標
電機功率:350W
電源:AC220V 50Hz
速度范圍:500rpm-10000rpm
程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
增減速率設置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
時間范圍:0-60s
吸盤:Ø19mm、Ø60mm
本機可選配加熱功能:加溫范圍RT-150℃; 加熱蓋,水槽及吸盤采用耐高溫材質聚四氟;溫度單獨控制,與主機程序控制無關聯;
尺寸:450mm×280mm×340mm
重量:20kg
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